本报6月27日讯(记者 葛君)近日，艾恩半导体自研高端离子注入机完成整装核验，首次顺利交付国外合作企业。本次海外交付，是艾恩半导体全球化布局稳步推进的缩影，也是海外市场对“济南造”离子注入装备技术实力与产品品质的认可。
离子注入机，是芯片制造中难度仅次于光刻机的核心设备，行业对设备精密性、运行稳定性、工艺适配标准要求极高，也是中国构建完整产业链条绕不过去的关键环节。究其原理，不含杂质的硅单晶导电性能差，只有在硅中加入适量“元素”，使硅单晶的结构和电学性能发生改变，才能发挥出半导体的功能。这个“掺杂”工艺即离子注入的过程，须精准调控注入的剂量、深度、角度三大关键参数。
离子注入机国产替代需求强，集成难度大，零部件有3万个之多。面对半导体设备几乎完全依赖进口的困境，艾恩半导体致力于打破国外技术垄断，成为国内重要的离子注入机设备研制企业。2024年底，艾恩半导体总部落户位于济南高新区的山东产业技术研究院高科技创新园，成为山东省内首家离子注入设备企业。这一落子，对济南乃至山东半导体产业发展意义深远。2025年6月底，艾恩半导体首款自主研发的硅基中束流离子注入机成功下线，为济南集成电路产业补链强链再添关键一环。艾恩半导体落地济南后积极发挥其“链主”效应，已开始在本地培育上游零部件企业，正助力引进多家半导体上下游伙伴，一个围绕高端半导体装备的产业生态正在济南加速成型。此次设备首次交付海外，更让“济南造”高端半导体装备站上了国际舞台。本次艾恩半导体交付设备搭载多项自研核心零部件与专属工艺技术，整机综合性能达到国际先进层级，高度适配国外企业产线制程需求，为客户半导体产线稳定量产提供可靠硬件支撑。 |
